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洁净室内洁净等级划分祅ao蚣八得鳇/div>

(一)洁净蕐iㄒ

洁净室(Clean Room),亦称wei无尘室或清净室。

「洁净室」是指将一定空间范围内之空qi中的微粒子、有害空qi、细菌等之污染物pai除,并将室内之温度、洁净度、室内yali、qiliu速度yuqiliu分布、噪音zhen动及照明、静电控制在某一需qiu范围内,而suo给yu特别设计之fang间。亦即是不论wai在之空qi条jian如何bian化,其室内均能俱有维持原先suo设定要qiu之洁净度、温湿度及yali等xing能之特xing。

洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅xin片等)suojiechu之daqi的洁净秗e占拔率龋共纺茉谝桓隽糷ao之环境空间中生产、制造,此空间我们称之wei「洁净室」。 www.bidu-clean.com- r|r7l2m5ePW6$g|f

(二)洁净蕐i燃

shi界各国均有自定gui格,但普遍还是用美国联邦biao准209wei多,以xia仅就209D及209Eheshi界上其它各国制定biao准作介绍yuxiang互比jiao。

209Eyu209D等最da之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净蕐e燃兑渊FM′zitou表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之biao准化,Mzi母后之阿拉bo数目讂hi且悦苛⒎焦玞hi中>=0.5μm之微尘粒子数目zi以10的幂次方表示,取指数wei之,若微尘粒子数介于前后二者完quan幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。  bi都净化- sokKp!#5$}"RkTfE

美国联邦biao准FS 209D都以英制每立穓ieei单位,日本则是cai用公制,即以每立方公chiwei单位,以0.1μm微粒子wei计数biao准。日本biao准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最hao的等级weiClass 1,最差则weiClass 8,以每立方公chi中微尘粒子总数中化wei10的幂次方,取其指数而得。

(san)洁净室控管之项目 www.bidu-clean.com- ^YERB)pAZNV[F h7

1. 能除去空qi中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度he湿度之控制。
4. yali之调节。
5. 有害qi体之pai除。
6. 结gou物yu隔间之qi密xing。
7. 静电之防制。
8. 电ciganrao预防。
9. 安quan因素之kao虑。
10. 节能之kao量。 www.bidu-clean.com- D0}*CB2^J3sbIscg

(四)洁净蕐i掷

1.luanliu式(Turbulent Flow):

空qi由空调箱经风管yu洁净室内之空qi过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室liang侧隔间墙板或高jia地板hui风。qiliu非直线型运动而呈不gui则之luanliu或woliu状态。此型式适用于洁净蕐e燃?,000-100,000级。

优点:gou造jian单、系统建造cheng本,洁净蕐i┏浔萰iao容易,在某些特殊用途场suo,可并用无尘工作台,提高洁净蕐e燃丁?nbsp;

que点:luanliu造cheng的微尘粒子于室内空间飘浮不易pai出,易污染制程产品。lingwai若系统停止运转再激活,yu达需qiu之洁净度,往往须耗时xiang当chang一段时间。 

2.层liu式(Laminar):

层liu式空qiqiliu运动cheng一均匀之直线形,空qi由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高jia地板或liang侧隔墙板hui风,此型式适用于洁净蕐e燃缎瓒╦iao高之环境使用,一般其洁净蕐e燃秝eiClass 1~100。其型式可分wei二种:

(1)水平层liu式:水平式空qi自过滤器单穓iao虼党觯啥员咔奖谥甴ui风系统hui风,尘埃随风向pai出室wai,一般在xialiu侧污染jiao严重。

优点:gou造jian单,运转后duan时间内即可biancheng稳定。

que点:建造fei用比luanliu式高,室内空间不易扩充。

(2)垂直层liu式:fang间天花板完quan以ULPA过滤器覆盖,空qi由上往xia吹,可得jiao高之洁净度,在制程中或工作人员suo产生的尘埃可快速pai出室wai而不会影xiang其它工作区yu。

优点:管理容易,运转kai始duan时间内即可达稳定状态,不易wei作ye状态或作ye人员suo影xiang。

que点:gou造fei用jiao高,弹xing运用空间困难,天花板之吊jiaxiang当占空间,维修更换过滤器絰ia榉场

3.复合式(Mixed Type):

复合式wei将luanliu式及层liu式yu以复合或并用,可提供局部超洁净之空qi。

(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区yu或工作区yu100%覆盖使洁净度等糳uan岣咧?0级以上,可节省安装运转fei用。此型式需将作ye人员之工作区yu产品he机器维修yu以隔li,以避免机器维修时影xiang了工作及品zhi,ULSI制程da都cai用此种型式。

洁净隧道ling有二项优点:A.弹xing扩充容易; B.维修设备时可在维修区qing易zhi行。

(2)洁净管道(Clean Tube):将产品liu程经过的自动生产线包围并净化chu理,将洁净度等糳uan嶂?00级以上。因产品he作ye员及发尘环境xiang互隔li,少量之藅ou缂纯傻玫搅糷ao之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线wei最适宜使用。药品、食品ye界及半导体ye界均适用。

(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净蕐e燃?0,000~100,000之luanliu洁净室内之产品制程区的洁净度等糳uan岣遷ei10~1000级以上,以wei生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

洁净工作台:等级Class 1~100级。

洁净工作棚:wei在luanliu式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围cheng一小空间,cai用独立之HEPA或ULPA及空调藅ou缁鷝u而chengwei一jiao高级之洁净空间,其等级wei10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以xia,四支支柱并加装活动轮,可wei弹xing运用。 

(wu)洁净室qiliu之liu动

洁净蕐e慕嗑欢韧艿絨iliu的影xiang,换言之,即人、机器隔间、建筑结gou等suo产生的尘埃之移动、扩散受到qiliu的支配。

洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空qi,其尘埃的shou集率达99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空qi可说十分gan净。然而洁净室内除了人以wai,shang有机器等之发尘源,zhe些发生的尘埃一dan扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用qiliu将发生的尘埃xun速pai出室wai。

洁净室内的qiliu是左右洁净室xing能的重要因素,一般洁净蕐e膓iliu速度是选0.25~0.5m/s之间,此qiliu速度属微风区yu,易受人、机器等的动作而ganraoqu于混luan、虽提高风速可yi制此一raoluan之影xiang而保持洁净度、但因风速的提高,将影xiang运转cheng本祅ao黾樱瑂uo以应在满zu要qiu的洁净度水准之时,能以最适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济xing效果。

ling一方面yu达到洁净室洁净度之稳定效果,均一qiliu之保持亦wei一重要因素,均一qiliu若无法保持,表示风速有yi,特别是在壁面,qiliu会延着壁面发生woliu作用,此时要实现高洁净度shi实上很困难。

垂直层liu式穓iao蛞3志籷iliu必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差yi;(b)地板hui风板吸入面之风速不可有速度上的差yi。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有woliu之现xiang发生,而0.5m/s之速度,qiliu则jiao均一,目前一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。 

影xiang洁净蕐e膓iliu因素很多,如制程设备、人员、洁净室zu装材、照明器具等,同时对于生产设眊an戏絨iliu的分liu点,亦应列入kao虑因素。

一般cao作台或生产设备祋ue砻娴膓iliu分liu点,应设于洁净室空间yu隔墙板间距2/3之chu,如此可使作ye人员工作时,qiliu可从制程区内部liu向作ye区,而将微尘dai走;若分liu点配置在制程区前方,将chengwei不当的qiliu分liu,此时da部fen的qiliu将liu至制程区之后,作ye员cao作suo引qi的尘埃将被dai到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。

洁净室内的工作桌等障ai物,在xiangjiechu均会有woliu现xiang发生,xiang对地在其附jin之洁净度将会jiao差,在工作桌面zuan上hui风孔,将使woliu现xiang减少最低;zu装材料之选择是否恰当、设备布緕hi欠裢阺han,亦weiqiliu是否chengweiwoliu现xiang之重要因素。

(liu)洁净蕐i甮oucheng

洁净蕐e膅oucheng是由xia列各项系统suozucheng(在suozucheng的系统分子中是que一不可的),否则将无法goucheng一完zheng且品zhi良hao的洁净室:

(1)天花板系统:包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceilinggrid或Ceilingframe)。
(2)空调系统:包括空qi舱、过滤器系统、风车等。
(3)隔墙板(Partitional wall):包括chuang户、门。 
(4)地板:包括高jia地板或防静电舒美地板。
(5)照明器具:包括日光灯、黄色灯管等。

洁净蕐iㄖ魈錱ou造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种gou造,必须满zu如xia之条jian:

A.不会因温秖ue浠痽uzhen动而发生裂痕;
B.不易产生微尘粒子,且很膞un阶帕W樱狐br style="padding:0px;margin:0px;" /> C.吸湿xing小;
D.wei了维硓hi夷谥忍鮦ian,rejue缘xing要高;

 

 

等级
蕑hi跏曳掷
chen降(浮游)细菌最da平均浓度
表面最da染菌密度
空qi洁净度级别
适用范围
蕑hi跚
周边区
蕑hi跚
周边区
I
特别洁净蕑hi跏
0.2个①
0.4个
5个/cm2
100级
1000级
naowai科、quan身烧伤、gu关节置换、脏器移植及感染率da的chu置室
II
biao准洁净蕑hi跏
0.75个
1.5个
5个/cm2
1000级
10000级
衝ao鄔ai科、眼wai科、zheng形wai科及非quan身烧伤
III
一般洁净蕑hi跏
2个
4个
5个/cm2
10000级
100000级
(衝ao鄔ai科除wai的)xiongwai科、泌niao科、分mian室、皮fu科及erbi喉科
IV
准洁净蕑hi跏
5个
5个/cm2
300000级
门诊、急诊、一般wai科



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